电子展|纳米金刚石抛光液：超精密抛光的前沿材料

纳米金刚石抛光液是一种用于精密加工的高效抛光材料，主要由纳米级金刚石颗粒、湿润剂、表面改性剂、分散剂、化学添加剂以及水等组成。纳米金刚石的颗粒直径通常小于100纳米，这使它具备纳米材料的特殊性质和传统金刚石的超硬特性，成为超精密抛光工艺中不可或缺的材料。

电子展了解到，在抛光过程中，纳米金刚石的颗粒由于尺寸极小，能够深入到传统磨料无法接触到的表面微观结构中，进行更加细致的抛光。同时，纳米金刚石的表面活性较高，通过适当的化学处理，其与表面材料的摩擦力得以降低，使抛光过程更加平稳。此外，由于纳米金刚石的颗粒大小均匀，能够实现极高的表面平整度，适用于高端光学元件、晶体和精密金属的表面加工。

纳米金刚石抛光液的优势

纳米金刚石抛光液在多种行业中的应用优势明显，主要体现在以下几个方面：

极高硬度：金刚石是自然界中十分坚硬的材料，摩氏硬度达到10。纳米金刚石保留了这一特性，因此在加工硬质材料时，能够有效提升效率，减少抛光时间。

纳米级表面平整度：纳米金刚石颗粒的尺寸极小，能够抛光到表面极为细微的凹陷处。相比于传统的磨料，纳米金刚石抛光液可以将表面粗糙度控制在1nm以下，满足超高精度表面要求。

润滑效果：纳米金刚石颗粒表面通常带有一层石墨，这种石墨层在抛光过程中起到天然的润滑作用，减少了摩擦和加工过程中可能产生的划痕。这样不仅保护了抛光表面，还延长了抛光工具的使用寿命。

高效分散性：纳米金刚石通过特定的化学处理和分散剂的作用，能够在溶液中均匀分布，减少了团聚现象。这种均匀分布保证了抛光过程的稳定性，使抛光表面更加平滑，且减少了表面缺陷的产生。

广泛适用性：由于纳米金刚石抛光液可以应用于多种材料，其用途非常广泛。例如，光学玻璃、晶体、精密陶瓷、金属材料甚至硬质合金都可以通过纳米金刚石抛光液进行高效处理。特别是在对表面质量要求极高的半导体硅片、计算机硬盘基片等领域，纳米金刚石抛光液的优势尤为突出。

纳米金刚石抛光液的应用

纳米金刚石抛光液由于其卓越的性能，在诸多高科技领域中得到了广泛应用。以下是一些典型应用领域和相关企业：

半导体硅片抛光：随着数字化、智能化等新技术的发展，半导体产业作为现代科技的核心领域之一，正在迎来前所未有的机遇。半导体行业的主要职能之一是芯片设计，芯片是半导体技术的核心产品，包括集成电路和微处理器等。而制成半导体芯片的基础材料就是超光滑､大尺寸平面化的基片材料｡因此，在半导体芯片制造过程中，抛光研磨是极其重要的关键步骤，直接影响着晶圆表面的平整度。电子展了解到，目前，金刚石研磨液已在半导体晶圆抛光研磨工艺中取得广泛应用。例如T.Kurobe将水基纳米金刚石应用于硅片抛光，用海藻酸钠、羧甲基纤维素钠、表面活性剂以及去离子水配制抛光液，制备了悬浮稳定的抛光液。T.Kurobe对超分散纳米金刚石抛光硅片进行了研究，并对干法抛光和抛光液湿法抛光进行了对比，干法抛光液使硅片表面粗糙度Ra从107nm降到4nm。使用水基纳米金刚石抛光液进行湿法抛光，抛光效率更高，并且得到硅片的表面粗糙度更小，达到4nm。

计算机硬盘基片抛光：硬盘盘基片的光滑度直接影响存储密度和磁头飞行高度的稳定性。通过使用纳米金刚石抛光液，可以将硬盘基片表面粗糙度控制在1nm以下，使其满足高存储密度硬盘的需求。国内外多家硬盘制造商，包括希捷和西部数据等，都采用了纳米金刚石抛光液技术，以提升硬盘基片的质量。

计算机磁头抛光：磁头在硬盘系统中的工作条件极为苛刻，特别是随着存储密度的增加，磁头的飞行高度进一步降低至亚纳米级别。通过使用纳米金刚石抛光液，能够实现对磁头表面的精密加工，减少表面粗糙度，提升磁头的工作稳定性。

光纤连接器抛光：光纤连接器在光通信和光纤传输系统中要求极高的几何精度和表面质量。纳米金刚石抛光液能够有效减少光纤端面的粗糙度，提高光纤的信号传输效率，应用于大量光纤通信设备制造商中。

电子展了解到，法国的Saint-Gobain圣戈班集团，位于德国柏林的Dopa Diamond Tools，和中国的多家金刚石相关企业例如北京国瑞升，正在大力推动纳米金刚石抛光液的产业化和应用。这些企业通过改进抛光液的配方和生产工艺，逐步将这种新型材料推向更加广泛的市场。

文章来源：DT半导体