深圳电子展|揭秘半导体芯片封装:涂布工艺流程详解

熟悉封装工艺流程是认识封装技术的前提，是进行封装设计、制造和优化的基础。

芯片封装和芯片制造不在同一工厂完成

它们可能在同一工厂不同的生产区、或不同的地区，甚至在不同的国家。许多工厂将生产好的芯片送到几千公里以外的地方去做封装。芯片一般在作成集成电路的硅片上进行测试。在测试中，先将有缺陷的芯片打上记号(打一个黑色墨点)，然后在自动拾片机上分辨出合格的芯片。

1、封装工艺流程概况

流程一般可以分成两个部分：在用塑料封装之前的工序称为前段工序，在成型之后的操作称为后段工序。成型工序是在净化环境中进行的，由于转移成型操作中机械水压机和预成型品中的粉尘达到1000级以上(空气中0.3μm粉尘达1000颗/m3以上)。

深圳电子展了解到，现在大部分使用的封装材料都是高分子聚合物，即所谓的塑料封装。上图所示的塑料成型技术有许多种，包括转移成型技术、喷射成型技术、预成型技术，其中转移成型技术使用最为普遍。

2、芯片切割

2.1、为什么要减薄

半导体集成电路用硅片4寸厚度为520μm，6寸厚度为670μm。这样就对芯片的切分带来困难。因此电路层制作完成后，需要对硅片背面进行减薄，使其达到所需要的厚度，然后再进行划片加工，形成一个个减薄的裸芯片。

2.2、减薄工艺

硅片背面减薄技术主要有：

磨削、研磨、化学抛光、干式抛光、电化学腐蚀、湿法腐蚀、等离子增强化学腐蚀、常压等离子腐蚀等。

减薄后硅片粘在一个带有金属环或塑料框架的薄膜(常称为蓝膜)上，送到划片机进行划片。深圳电子展了解到，现在划片机都是自动的，机器上配备激光或金钢石的划片刀具。切割分部分划片(不划到底，留有残留厚度)和完全分割划片。对于部分划片，用顶针顶力使芯片完全分离。划片时，边缘或多或少会存在微裂纹和凹槽这取决于刀具的刃度。这样会严重影响芯片的碎裂强度。

先划片后减薄和减薄划片两种方法

在背面磨削之前，将硅片的正面切割出一定深度的切口，然后再进行磨削。

在减薄之前先用机械的或化学的方法切割出一定深度的切口，然后用磨削方法减薄到一定厚度后，采用常压等离子腐蚀技术去除掉剩余加工量。

深圳电子展了解到，这两种方法都很好地避免了或减少了减薄引起的硅片翘曲以及划片引起的边缘损害，大大增强了芯片的抗碎能力。

2.3、芯片贴装

芯片贴装，也称芯片粘贴，是将芯片固定于封装基板或引脚架芯片的承载座上的工艺过程。

 

 

文章来源：芯片半导体实验室